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MEMS（Micro Electro mechanical System）即微机电系统，是指采用微机电加工技术按照功能要求在微米量级的芯片上集成机械零件、电子组件和传感器执行组件等而形成的一个独立智能系统。由于单晶石英材料具有压电效应，且具有优良的温度、机械性能、高品质因素等特性，采用单晶石英制作的石英 MEMS 加速度传感器、压力传感器和石英 MEMS 陀螺仪等，具有高精度、高稳定性、高分辨率等特点，在微型惯性导航系统、姿态测量与控制、航空航天、汽车电子、仪器仪表等领域具有广泛应用，其加工工

近年来，我国半导体制造材料技术和产品质量取得长足发展，特别是在02专项重点支持和国家集成电路产业投资基金及扶持集成电路产业优惠政策的带动下，产业发展更是日新月异。 CMP工艺用抛光液，目前基本上可以和国外公司互相取长补短，某些产品，如铜和阻挡层抛光液和国外产品水平相当，已经具备进一步发展并取得突破的基础。溅射靶材方面，从靶材的品种到靶材的应用，都能够满足主流集成电路制造的需求，跻身于国际领先的溅射靶材供应商之林指日可待。超高纯电子特气方面，蚀刻气体技术水平基本与国际持平，某些品种国内产品还占据

本文介绍一种创新的自适应稳压器(AC/DC或DC/DC)脉宽调制器(PWM) ，基于“固定关断时间(FOT)”或“恒定导通时间(COT)”控制方法，可以在全工况下(例如，满负载CCM或中低负载DCM模式，宽输入输出电压) 以恒定开关频率工作，无转换器的寄生参数(例如，功率开关和滤波电感器的电阻)的负面影响。此外，本文提出的调制器电路与转换器拓扑无关(升压、降压、反激式等)，只与功率开关管栅极驱动逻辑信号(GD)有关，节省芯片引脚数量，且/或降低设计复杂程度。 前言 在一个基于FOT控制方法的开